|
| 定價 : |
NT$ 480 |
| 特價 : |
NT$ 456 |
|
|
|
|
 |
|
|
 |
 |
 |
-
扼要敘述積體電路製程的基本理論。
-
介紹積體電路製程模擬軟體
SSUPREM 3 的基本使用。
-
根據積體電路製程的基本理論，設計
44 個
SSUPREM 3 模擬例題。
-
利用
SSUPREM 3 模擬，配合圖形、表格與數值分析方法討論積體電路製程的原理與參數的計算。
-
隨書附贈之光碟中包含所有例題之模擬程式及圖形，計算χj、Rs及
Smith 積分之
MATLAB 程式以及
SSUPREM 3的簡易使用說明。
|
|
|
 |
-
第一章 導 論
-
第二章 擴 散
-
第三章 熱氧化
-
第四章 薄膜沉積
-
第五章 蝕 刻
-
第六章 離子佈植
|
|
|
 |
|
|
|
|
 |
|
|
| |
 |
 |
|
| 作(編/譯)者 : |
王啟林 |
出版年份 :
|
2001
|
| ISBN : |
9789575849375 |
類別 :
|
積體電路
|
| 書號 : |
262023 |
幾色 :
|
1
|
| 規格 : |
16 |
發行公司 :
|
高立
|
| 版權日期 : |
2001/9/20 |
版次 :
|
初版發行
|
| 頁數 : |
440 |
|
|
|
|