扼要敘述積體電路製程的基本理論。

介紹積體電路製程模擬軟體 SSUPREM 3 的基本使用。

根據積體電路製程的基本理論，設計 44 個 SSUPREM 3 模擬例題。

利用 SSUPREM 3 模擬，配合圖形、表格與數值分析方法討論積體電路製程的原理與參數的計算。

隨書附贈之光碟中包含所有例題之模擬程式及圖形，計算χ_j、R_s及 Smith 積分之 MATLAB 程式以及 SSUPREM 3的簡易使用說明。

第一章　導　論

第二章　擴　散

第三章　熱氧化

第四章　薄膜沉積

第五章　蝕　刻

第六章　離子佈植